Plazmas virsmas tīrīšana ir process, kurā no parauga virsmas tiek noņemti piemaisījumi un piesārņotāji, veidojot augstas enerģijas plazmu no gāzveida daļiņām, tas ir paredzēts dažādiem lietojumiem, piemēram, virsmu tīrīšanai, virsmu sterilizācijai, virsmas aktivizēšanai, virsmas enerģijas maiņai, virsmas sagatavošana līmēšanai un adhēzijai, virsmas ķīmijas modificēšana.